2024年9月24日，由上海市科技创业中心组织的“2024上海高新技术成果转化百佳表彰会”在上海大零号湾科创大厦会议中心隆重召开。此次表彰会议上，上海新阳干法蚀刻清洗液项目荣获“2024年上海市高新技术成果转化项目自主创新十强”的荣誉称号。
上海新阳干法蚀刻清洗液项目于2009年立项，通过十多年自主研发，开发了针对晶圆铝工艺和铜工艺干法刻蚀后残余聚合物的清洗液，实现特定纳米以上技术节点集成电路制造铜工艺和铝工艺的全覆盖，一举突破国外企业的技术封锁，填补了国内技术空白，完成了国产替代，为“卡脖子”关键工艺材料的持续创新注入了“新动能”。
这份荣誉既是对上海新阳干法蚀刻清洗液项目的肯定，也是对上海新阳一直以来不断创新、勇于突破精神的嘉奖。上海新阳将以此为激励，持续开发新项目，攻克核心技术难关，为加速半导体芯片产业国产替代的进程而贡献力量！
